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Products新聞中心/ NEWS
真空沖洗裝置是半導(dǎo)體制造、精密光學(xué)、醫(yī)療器械及高潔凈實(shí)驗(yàn)室中用于高效清除微粒、有機(jī)殘留與金屬離子污染物的關(guān)鍵設(shè)備，通過(guò)負(fù)壓抽吸與高壓噴淋協(xié)同作用，在密閉環(huán)境中實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓、玻璃基板、腔體零件等的無(wú)接觸、無(wú)二次污染清洗。真空沖洗裝置性能依賴于多模塊的精密集成，每一部件均體現(xiàn)強(qiáng)效去污、潔凈保障、智能控制、安全可靠的現(xiàn)代清洗理念。一、真空系統(tǒng)高性能干式螺桿泵或渦旋泵：提供穩(wěn)定真空度（通常–80至–95kP...
2018-08-13
2018-06-21
2018-05-22
2018-04-16
2017-12-09
2017-10-10
2017-09-05
2017-08-15
2017-07-24
2017-06-16
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